2009-08-25
TSMC 28nm制程达成良率验证
2010年初起按季分批进行试产
文: Goofy Ko / 新闻中心
文章索引: IT要闻 半导体 TSMC

TSMC 24 日宣佈,目前 28nm 高介电层 / 金属闸制程的技术蓝图已正式包括低耗电制程 (28HPL) , 28HPL 将强调低耗电、低漏电、但仍能维持中高效能,主要针对应用于行动电话、 Smart Netbook 、无线通讯及可携式消费性电子产品等,于并预期于 2010 年第三季进行试产。

 

据 TSMC 表示, 28nm 低耗电高介电层 / 金属闸 (28HPL) 制程採用 gate-last 方法而成,强调低耗电、低漏电、但仍能维持中高效能, 28HPL 制程有完备的元件支援,而且因延伸自氮氧化硅 (SiON) 制程,因而成本更低、且有利于快速上市,因此适用于日新月异的手机与手持装置的市场。

 

另一方面, 28nm 高效能高介电层 / 金属闸 (28HP) 制程亦採用 gate-last 方法,比较适合中央处理器 (CPU) 、绘图处理器 (GPU) 、晶片组 (Chipset) 与可程式化闸阵列 (FPGA) 、游戏主机与行动计算等高效能导向的应用。

 

据 TSMC 研究发展副总经理孙元成博士表示,在技术发展的过程中,採用 gate-last 的方式来发展 28HPL 相关技术,在电晶体特性、利于高阶与低阶应用方面,均比较採用 gate-first 方法拥有更高优势及可制造性。

 

据了解,目前 28nm 技术的发展与进入量产的时程,一切可按 2008 年发表 28 奈米技术的计划进行,即低耗电氮氧化硅 (28LP) 制程预计于 2010 年第一季底进行试产,高效能高介电层 / 金属闸 (28HP) 制程则预计于 2010 年第二季底开始试产,而低耗电高介电层 / 金属闸 (28HPL) 制程的试产时程将于 2010 年第三季进行试产。

 

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